[发明专利]一种处理硅晶板切割废弃物的方法及装置

摘要

一种处理硅晶板切割废弃物的方法及装置，系由两阶段的连续步骤及利用装置所组成，整个方法包含第一阶段的固液分离步骤，以及第二阶段的液液分离步骤；第一阶段的固液分离步骤先将废弃物进行固液分离，固液分离后液体废弃物再利用一个三阶段的连续性的真空蒸馏步骤，包括一个二阶段的薄膜蒸发步骤，以及一个一阶段的分子蒸馏步骤，将液体废弃物中所含的废水、聚乙二醇、以及切削油(废油)加以精馏、分离、及回收；整个方法不仅可以达到资源回收再利用的目标，且可避免二次污染的产生。

主权项

1.一种处理硅晶板切割废弃物的方法，包含：A：固液分离步骤，将废弃物中的固体与液体进行分离，以分离出固体废弃物与液体废弃物；B：废水分离步骤，接续A，以薄膜蒸发方式将液体废弃物的中之废水分离出来；C：聚乙二醇回收步骤，接续前述B，将分离出废水的液体废弃物，再以薄膜蒸发方式分离出聚乙二醇；以及D：废油回收步骤，接续前述C，将分离出聚乙二醇的液体废弃物，以分子蒸馏方式析出废油加以回收，残余之废油渣则排出流程，等待焚化。