[发明专利]电接触用合金材料及其探针无效
申请号: | 200810169096.9 | 申请日: | 2008-10-20 |
公开(公告)号: | CN101726634A | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 林源记 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭露一种电接触用合金材料及其探针。此种电接触用合金材料及其探针主要用于半导体元件的测试。此种电接触用合金材料主要包含有金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)与铂(Pt)等元素,其特征在于此种电接触用合金材料是至少经固熔(solution)、冷加工(cold-work/rolling)与时效风化(aging hardness)等工艺而形成。其中金的重量成份比例不小于73%,银(Ag)则约占4%。此种电接触用合金材料的表面硬度介于355Hv维氏硬度与378Hv维氏硬度之间,较佳的电阻系数则介于15.5欧姆/公分与20.2欧姆/公分之间。 | ||
搜索关键词: | 接触 合金材料 及其 探针 | ||
【主权项】:
一种电接触用合金材料,供制作一探针以进行半导体元件的测试,其中该电接触用合金材料主要包含有金、银、铜与铂等元素,其特征在于:该电接触用合金材料至少经固熔、冷加工与时效风化的工艺而形成,其中金的重量成份比例不小于73%,银约占4%,且该电接触用合金材料的表面硬度介于355Hv维氏硬度与378Hv维氏硬度之间,较佳电阻系数介于15.5欧姆/公分与20.2欧姆/公分之间。
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