[发明专利]电接触用合金材料及其探针无效

专利信息
申请号: 200810169096.9 申请日: 2008-10-20
公开(公告)号: CN101726634A 公开(公告)日: 2010-06-09
发明(设计)人: 林源记 申请(专利权)人: 京元电子股份有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 周国城
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明揭露一种电接触用合金材料及其探针。此种电接触用合金材料及其探针主要用于半导体元件的测试。此种电接触用合金材料主要包含有金(Au)、银(Ag)、铜(Cu)与铂(Pt)等元素,其特征在于此种电接触用合金材料是至少经固熔(solution)、冷加工(cold-work/rolling)与时效风化(aging hardness)等工艺而形成。其中金的重量成份比例不小于73%,银(Ag)则约占4%。此种电接触用合金材料的表面硬度介于355Hv维氏硬度与378Hv维氏硬度之间,较佳的电阻系数则介于15.5欧姆/公分与20.2欧姆/公分之间。
搜索关键词: 接触 合金材料 及其 探针
【主权项】:
一种电接触用合金材料,供制作一探针以进行半导体元件的测试,其中该电接触用合金材料主要包含有金、银、铜与铂等元素,其特征在于:该电接触用合金材料至少经固熔、冷加工与时效风化的工艺而形成,其中金的重量成份比例不小于73%,银约占4%,且该电接触用合金材料的表面硬度介于355Hv维氏硬度与378Hv维氏硬度之间,较佳电阻系数介于15.5欧姆/公分与20.2欧姆/公分之间。
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