[发明专利]对图案化介质盘进行度量的系统、方法和设备有效
申请号: | 200810169444.2 | 申请日: | 2008-10-22 |
公开(公告)号: | CN101419807A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 胜村义辉 | 申请(专利权)人: | 日立环球储存科技荷兰有限公司 |
主分类号: | G11B5/82 | 分类号: | G11B5/82;G11B5/84 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 张 波 |
地址: | 荷兰阿*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 本发明涉及对图案化介质盘进行度量的系统、方法和设备。具有矩形或六边形周期的小的集成测试图案被结合在图案化介质结构的同心圆环之间。测试图案仅覆盖盘的非常小的区域,从而不显著影响盘容量。与具有曲线周期的测试图案相比,所述测试图案的周期允许其结构更容易地以度量技术测量。 | ||
搜索关键词: | 图案 介质 进行 度量 系统 方法 设备 | ||
【主权项】:
1. 一种数据存储盘,包括:基底,具有构造有曲线周期的介质构成的数据存储结构,所述数据存储结构具有多个物理部件;以及所述基底上的且与所述曲线周期结合的测试结构构成的测试区,所述测试结构配置有与所述数据存储结构的所述多个物理部件不同的物理部件,用于方便对所述测试结构和数据存储结构的测量。
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