[发明专利]准分子灯有效
申请号: | 200810170150.1 | 申请日: | 2008-10-13 |
公开(公告)号: | CN101409204A | 公开(公告)日: | 2009-04-15 |
发明(设计)人: | 沟尻贵文;松泽聪司;藤泽繁树;森本幸裕 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | H01J61/36 | 分类号: | H01J61/36;F21V7/22 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 谢丽娜;关兆辉 |
地址: | 日本国东京*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能以高效率放射紫外线、而且能以高均匀性照射紫外线照射对象体的紫外线照射对象面并且不会产生紫外线反射膜的剥落的准分子灯。本发明的准分子灯,一种准分子灯,包括二氧化硅玻璃制的放电容器,在由上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕而成的内部空间中,封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的放电用气体,并将形成于该放电容器的上壁板的外表面上的一个电极、及形成于下壁板的外表面上的另一个电极相对地配置,其中,在上述放电容器的内表面上、至少在侧壁板内表面区域,形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子构成的紫外线反射膜,该紫外线反射膜以30重量%以上的比率含有二氧化硅粒子。 | ||
搜索关键词: | 分子 | ||
【主权项】:
1.一种准分子灯,包括二氧化硅玻璃制的放电容器,该放电容器由上壁板及与该上壁板相对的下壁板、与该上壁板及下壁板连接的一对侧壁板、以及分别与该上壁板、下壁板及一对侧壁板连接的一对端壁板形成,在由上壁板、下壁板、侧壁板及端壁板围绕而成的内部空间中,封入有通过电介质壁垒放电形成准分子分子的放电用气体,并将形成于该放电容器的上壁板的外表面上的一个电极、及形成于下壁板的外表面上的另一个电极相对地配置,上述准分子灯的特征在于,在上述放电容器的内表面上、至少在侧壁板内表面区域,形成由二氧化硅粒子和氧化铝粒子构成的紫外线反射膜,该紫外线反射膜以30重量%以上的比率含有二氧化硅粒子。
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