[发明专利]光测量装置和扫描光学系统无效
| 申请号： | 200810170559.3 | 申请日： | 2008-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN101424568A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 松浦康二 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01J1/04;G01J3/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明披露了一种光测量装置和扫描光学系统，光测量装置可以有效取入来自平面光源的不同部分的光以执行测量。用于测量来自平面光源的光的光测量装置包括被配置为执行用于连续取入来自平面光源的不同部分的光的操作的空间分割装置。光学聚集装置聚集通过空间分割装置的操作取入的来自平面光源的不同部分的光。检测器接收由光学聚集装置聚集的光并输出对应于所接收光的信号。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 扫描 光学系统 | ||
【主权项】：
1. 一种用于测量来自平面光源的光的光测量装置，包括：空间分割装置，被配置为执行用于连续取入来自所述平面光源的不同部分的光的操作；光学聚集装置，被配置为聚集通过所述空间分割装置的操作而取入的来自所述平面光源的不同部分的光；以及检测器，被配置为接收由所述光学聚集装置聚集的光并输出对应于所接收光的信号。
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