[发明专利]压电振动片、压电振子以及加速度传感器有效
| 申请号： | 200810170678.9 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101425789A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 菊岛正幸 | 申请（专利权）人： | 爱普生拓优科梦株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/05 | 分类号： | H03H9/05;H03H9/215;G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 党晓林;李艳艳 |
| 地址： | 日本东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供他轴灵敏度降低了的压电振动片、安装有该压电振动片的压电振子以及加速度传感器。该压电振动片具有：振动臂(14)，其沿第一方向延伸，并被悬臂支撑；基部(12)，其悬臂支撑振动臂；以及使振动臂沿与第一方向垂直的第二方向弯曲振动的第一侧面电极膜(36)、第二侧面电极膜(38)、第一内面电极膜(40)、第二内面电极膜(42)、底面电极膜(44)、第一激励电极膜(46)、第二激励电极膜(48)、第三激励电极膜(50)、引出电极膜(52)和连接电极膜(54)，其特征在于，振动臂具有调整部，该调整部相对于与第一方向和第二方向垂直的第三方向的弯曲来调整刚性。调整部是从振动臂的朝向第三方向的面的基部侧起沿振动臂的自由端方向设置的槽(26)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 振动 以及 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1. 一种压电振动片，该压电振动片具有：振动臂，其沿第一方向延伸，并被悬臂支撑；基部，其悬臂支撑所述振动臂；以及激励电极，其使所述振动臂沿与所述第一方向垂直的第二方向弯曲振动，该压电振动片的特征在于，所述振动臂具有调整部，该调整部相对于与所述第一方向和第二方向垂直的第三方向的弯曲来调整刚性。
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