[发明专利]使用诊断装置的光电制造工艺监测及控制

摘要

公开了在用于制造光电(PV)电池的相同基板上诊断装置的形成。将也称为工艺诊断工具(PDV)的这种装置设置成在线监测PV电池部件的电特征，并且使用用于PV电池制造的相同处理步骤在基板上形成这种装置。可以将通过PDV采集的数据用于调整或优化后续PV电池制造，即用作制造工艺的反馈。替代地，可以将通过PDV采集的数据在制造工艺中前馈，以便可以修改在PV电池基板上执行的后续处理步骤，以补偿通过PDV在PV电池基板上检测到的问题。

主权项

1.一种制造光电电池的方法，其包括：在基板表面之上形成一个或几个光吸收层；在该一个或几个光吸收层之上沉积导电层；通过至少去除该导电层的一部分在基板的区域上形成一个或几个诊断装置；在形成该一个或几个诊断装置之后将基板划分成第一和第二片段，其中使该区域基本位于第一片段内；以及使用布置在基板第二片段上的该一个或几个光吸收层和该导电层形成光电电池。