[发明专利]硅片载体使用的挂具

摘要

本发明提供了一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂和连接两个支臂的支撑部形成的U型框体，在所述每个支臂远离支撑部的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的作为紧固头用的凸起部。使用本发明，可以使挂具安装到硅片载体时，紧固头受力使支臂弯曲，使得安装会更为精确便捷。

主权项

1、一种硅片载体使用的挂具，包括由两个支臂(1)和连接两个支臂(1)的支撑部(2)形成的具有U型开口的框体，其特征在于，在所述每个支臂(1)远离支撑部(2)的位置，设置有朝向U形开口外侧方向的凸起部(3)。