[发明专利]半导体检测仪无效
申请号: | 200810171833.9 | 申请日: | 2008-11-14 |
公开(公告)号: | CN101762747A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 周庆一 | 申请(专利权)人: | 周庆一 |
主分类号: | G01R27/02 | 分类号: | G01R27/02;G01R31/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214183 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体检测仪,包括半导体型号测试部分和半导体电阻率测试部分,所述半导体型号测试部分和半导体电阻率测试部分通过自动切换部分连接,所述自动切换部分与测试探针连接。本发明整合了硅材料测试中的电阻率测试和材料型号测试两部分,充分利用智能设备中单片机完成自动的检测和两部分的相互切换,无需手工干涉,提高了产品智能化水平、一体化程度和劳动生产率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 检测 | ||
【主权项】:
一种半导体检测仪,其特征在于:包括半导体型号测试部分和半导体电阻率测试部分。
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