[发明专利]半导体检测仪无效
| 申请号： | 200810171834.3 | 申请日： | 2008-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101762748A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 周庆一 | 申请（专利权）人： | 周庆一 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01B7/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214183 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体检测仪，包括半导体厚度测试部分和半导体电阻率测试部分，所述半导体厚度测试部分与半导体电阻率测试部分连接，所述半导体电阻率测试部分与测试探针连接。本发明整合了硅材料测试中的电阻率测试和材料厚度测试两部分，充分利用智能设备中单片机完成自动的检测和两部分的相互切换，无需手工干涉，提高了产品智能化水平、一体化程度和劳动生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 检测 | ||
【主权项】：
一种半导体检测仪，包括半导体厚度测试部分和半导体电阻率测试部分，其特征在于：所述半导体厚度测试部分与半导体电阻率测试部分连接，所述半导体电阻率测试部分与测试探针连接。
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