[发明专利]具有前驱物预先混合的喷头设计无效
| 申请号： | 200810171938.4 | 申请日： | 2008-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN101418465A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 布赖恩·H·伯罗斯;奥尔加·克里莱克;尤里·梅尔尼克;雅各布·格雷森;桑迪普·尼杰霍安;罗纳德·史蒂文斯;萨姆埃德霍·阿卡赖亚 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B29/38 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以用于沉积工艺中的方法和装置，例如金属氮化物膜的氢化物气相外延(HVPE)沉积。第一组通路可引入含金属前驱物气体。第二组通路可提供含氮前驱物气体。分散所述第一和第二组通路以分开所述含金属前驱物气体和所述含氮前驱物气体直到它们到达衬底。惰性气体还可流经所述通道以帮助保持间距和限制所述通路处或其附近的反应，从而防止所述通路上的不需要的沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 前驱 预先 混合 喷头 设计 | ||
【主权项】：
1、一种在一个或多个衬底上形成III-V族膜的方法，包括：将一个或多个含金属前驱物气体和含氮前驱物气体引入混合区域以形成混合物；以及经所述一个或多个衬底上方的一组通路，将所述混合物引入处理部。
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