[发明专利]干涉仪有效
| 申请号： | 200810172680.X | 申请日： | 2008-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101430190A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 高桥知隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;陈立航 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干涉仪。该干涉仪包括：激光束源；光波分割和合成部，用于对从激光束源照射来的激光束进行2路分波，并将其照射在测量对象上，并且合成分别具有位移信息的光；多相位干涉光生成部，用于根据合成的激光束，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光和具有与第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；三相信号生成部，用于根据基于第一至第四干涉光的第一至第四干涉信号来生成相位差为90°的三相信号；以及两相信号生成部，用于对相位差为90°的三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 | ||
【主权项】：
1. 一种干涉仪，包括：光源；光波分割和合成部，用于将从所述光源所发射的光分割成要照射在第一反射面上的第一光和要照射在第二反射面上的第二光，所述光波分割和合成部对被所述第一反射面反射后的所述第一光和被所述第二反射面反射后的所述第二光进行合成，以形成合成光；多相位干涉光生成部，用于根据所述合成光，生成具有第一相位的第一干涉光、具有与所述第一相位相差180°的第二相位的第二干涉光、具有与所述第一相位相差90°的第三相位的第三干涉光以及具有与所述第一相位相差270°的第四相位的第四干涉光；光接收部，用于接收所述第一干涉光到所述第四干涉光；干涉信号生成部，用于基于所接收到的所述第一干涉光到所述第四干涉光，生成第一干涉信号、第二干涉信号、第三干涉信号和第四干涉信号；三相信号生成部，用于基于所述第一干涉信号到所述第四干涉信号之间的差，生成相位差为90°的三相信号；以及两相信号生成部，用于对相位差为90°的所述三相信号执行矢量合成，从而生成相位差为90°的两相信号。
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