[发明专利]等离子体系统有效
| 申请号： | 200810173139.0 | 申请日： | 2008-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101730374A | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;蔡陈德;苏浚贤;许文通;蔡祯辉;黄骏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | H05H1/26 | 分类号： | H05H1/26;H05H1/28;H01L21/00;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种等离子体系统，用以产生一等离子体。等离子体系统包括一管体、一正电极及一负电极。管体具有一等离子体喷口、一第一端面及一第二端面。等离子体喷口贯穿管体的管壁，用以让等离子体通过以喷出至管体外。正电极具有一正电极侧面，正电极侧面面对且邻近于管体。负电极与正电极相距一第一预设距离。负电极具有一负电极侧面。负电极侧面面对且邻近于管体。其中，第一正电极及第一负电极位于第一端面与第二端面之间，而部份的等离子体喷口位于正电极与负电极之间。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
一种等离子体系统，用以产生一等离子体，所述离子体系统包括：一第一管体，该第一管体具有一第一进气口、一第一等离子体喷口、一第一端面及一第二端面，该第一进气口用以让一等离子体气体通过以进入至该第一管体内，该第一等离子体喷口贯穿该第一管体的管壁，该第一等离子体喷口用以让所述离子体通过以喷出至该第一管体外；一第一正电极，具有一第一正电极侧面及一第一正电极表面，第一正电极侧面连接于该第一正电极表面，该第一正电极侧面面对且邻近于该第一管体；以及一第一负电极，具有一第一负电极侧面及一第一负电极表面，该第一负电极侧面连接于该第一负电极表面，该第一负电极侧面面对且邻近于该第一管体，该第一负电极表面与该第一正电极表面相距一第一预设距离；其中，该第一正电极及该第一负电极位于该第一端面与该第二端面之间，而至少部份的该第一等离子体喷口位于该第一正电极与该第一负电极之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810173139.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种镀敷金属的制造方法
- 下一篇：移动性测量方法及用户设备、演进网络基站
