[发明专利]铜合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太阳能电池

摘要

本发明涉及一种铜合金靶材的制造方法，其包括：形成一靶材初坯；以及将靶材初坯在500-850℃区间进行热机处理或热退火处理，以令所制成的靶材中化合物相小于整体靶材面积的25％。本发明涉及一种铜合金靶材；本发明还涉及一种薄膜，其是使用如上所述的铜合金靶材经由溅镀所形成的；本发明另关于一种太阳能电池，其包含如上所述的薄膜。通过本发明(近)单相组织的铜合金靶材，使其应用于溅镀过程中不会诱发微电弧现象，而且也因着靶材(近)单相组织，使得靶材表面各处的溅镀速度相等，促使形成的薄膜成分均匀，故能提升薄膜质量及良率。

主权项

一种铜合金靶材的制造方法，其包括：形成一靶材初胚，其组成为CuxGa1-x，其中上述x是以原子百分比表示，x＝0.71-0.78；以及将靶材初胚在500-850℃的温度区间进行热机处理或热退火处理，以制成组成为CuxGa1-x的靶材，其中上述x是以原子百分比表示，x＝0.71-0.78，而化合物相面积小于整体靶材面积的25％，所述热机处理或热退火处理为步骤(I)、步骤(II)或其组合，其中，步骤(I)是将靶材初胚在500-850℃区间进行热机处理；步骤(II)是将靶材初胚在500-850℃下进行热退火0.5-5小时；之后再冷却至常温，以得到组成为CuxGa1-x的铜合金靶材。