[发明专利]扫描单元和带有该扫描单元的光学位置测量装置有效
| 申请号： | 200810174466.8 | 申请日： | 2008-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101435694A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | G·施奈德 | 申请（专利权）人： | 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵 辛 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学位置测量装置的扫描单元和带有该扫描单元的位置测量装置，其中探测装置(6)对电磁干扰场进行了屏蔽。屏蔽是用盖板(15)的一层透明的导电涂层来实现的。盖板(15)覆盖基体(20)的凹槽(21)，带探测装置(6)的透明载体(5)放置在该基体中。探测装置(6)布置在载体(5)的底面，而载体(5)则用其顶面固定在盖板(15)上。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 单元 带有 光学 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
1. 用于对一个在测量方向(X)内进行相对运动的比例尺(1)实施光学扫描的扫描单元包括：-一个探测装置(6)；-一个带有第一表面(10)和第二表面(9)的载体(5)，探测装置(6)布置在第二表面(9)上；-一块透明盖板(15)，该盖板固定在透明载体(5)的第一表面(10)上并具有一层屏蔽层(16)作为探测装置(6)对电磁场的屏蔽。
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