[发明专利]电处理轮廓控制无效
| 申请号： | 200810175701.3 | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101480743A | 公开（公告）日： | 2009-07-15 |
| 发明（设计）人： | A·P·马内斯;V·佳尔布特;Y·王;A·迪布施特;D·J·K·奥尔加多;L-Y·陈 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23H5/08 | 分类号： | B23H5/08;B24B37/04;C25F7/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及电处理轮廓控制。本发明提供一种用以电处理一基材的方法与设备。在一实施例中，用以电处理一基材的方法包括有以下步骤：将第一电极施加偏压，以建立介于该第一电极与该基材之间的第一电处理区域；以及将第二电极施加偏压以一极性，其中该第二电极是径向地被设置在基材之外，该极性是相反于施加至该第一电极的该偏压。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 轮廓 控制 | ||
【主权项】：
1. 一种研磨基材的方法，包括：将基材的一表面抵靠一研磨表面；将电解液流过研磨表面，以建立穿过位于基材和一电极之间的电解液的导电路径；相对于该电极对该基材施加偏压，其中相对于该基材对该电极施加负偏压；以及在所述基材的边缘的外侧维持该电解液的电压的过渡梯度。
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