[发明专利]一种等离子化学反应器有效
| 申请号： | 200810175816.2 | 申请日： | 2008-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN101440524A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 蔡焕国;李东锡;文熙锡;朴根周;金起铉;李元默 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;H05H1/24;B01J19/08 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁朝玉 |
| 地址： | 韩国京畿道水原市灵通*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子化学反应器。所述的反应器包括一个为等离子体反应提供一个空间的反应室；和一个一端与反应室壁面相连，另一端支撑一块基板使基板能够设置于反应室内中间部位，且安装后能够进行高度调节使基板保持一个水平状态的阴极组。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 化学 反应器 | ||
【主权项】：
1、一种等离子化学反应器包括：一个为等离子体反应提供一个空间的反应室；和一个一端与反应室壁面相连，另一端支撑一块基板使基板能够设置于反应室内中间部位，且安装后能够进行高度调节使基板保持一个水平状态的阴极组。
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