[发明专利]双重图像传感器及其制造方法

摘要

本发明实施例涉及一种包括第一器件的双重图像传感器，该第一器件包括：具有第一倾斜阶梯的第一晶片，在第一倾斜阶梯上的倾斜平面上的第一反射面，在与第一倾斜阶梯相邻的下部端面上方的至少一个第一微透镜，以及在与第一倾斜阶梯相邻的上部端面上的填充有金属的第一通道孔。双重图像传感器中的第二器件包括：具有第二倾斜阶梯的第二晶片，在第二倾斜阶梯上的倾斜平面上的第二反射面，以及在与第二倾斜阶梯相邻的上部端面的第一部分上的至少一个第二微透镜。通过将第一通道孔中的金属和第二通道孔中的金属连接在一起来形成双重图像传感器。该双重图像传感器能够使从图像传感器的一侧或两侧入射的光以及在图像传感器的正面和背面入射的光成像。

主权项

1. 一种方法，包括：通过下述步骤来形成第一器件：在第一晶片上形成第一倾斜阶梯，在所述第一倾斜阶梯上的倾斜平面上形成第一反射面以反射从侧面入射的光，以及在与所述第一倾斜阶梯相邻的下部端面上方形成至少一个第一微透镜；以及通过下述步骤来形成第二器件：在第二晶片上形成第二倾斜阶梯，在所述第二倾斜阶梯上的倾斜平面上形成第二反射面以反射从所述侧面入射的光，以及在与所述第二倾斜阶梯相邻的上部端面的第一部分上方形成至少一个第二微透镜；在与所述第一倾斜阶梯相邻的上部端面上形成第一通道孔，以及在所述第二晶片的所述上部端面的第二部分上形成第二通道孔；用金属填充所述第一通道孔和所述第二通道孔；以及将所述第一通道孔内的所述金属和所述第二通道孔内的所述金属连接。