[发明专利]静电夹盘和基板温度调节固定装置

摘要

提供了一种静电夹盘和基板温度调节固定装置，静电夹盘用于将吸附对象放置在基体上，所述静电夹盘具有嵌入于其中的静电电极，并且通过对静电电极施加电压来在吸附对象与静电电极之间产生库伦力以便在吸附状态下保持吸附对象，其中基体包括与吸附对象相对的上表面以及在基体的上表面中配备来与吸附对象相接触的突出部分，并且其中突出部分配备在除了基体上表面的外边缘部分以外的区域中，所述外边缘部分基本上形成在与基体上表面的平面相同的平面中。

主权项

1. 一种静电夹盘，包括：基体，和嵌入所述基体中的静电电极，其中吸附对象被置于所述基体上，通过对所述静电电极施加电压来在所述吸附对象与所述静电电极之间产生库伦力，以便在吸附状态下保持所述吸附对象，所述基体包括：所述基体与吸附对象相对的上表面，以及配备在所述基体的上表面、用于与所述吸附对象相接触的突出部分，所述突出部分配备在除了所述基体上表面的外边缘部分以外的区域中，以及所述外边缘部分基本上形成在与所述基体上表面的平面相同的平面中。