[发明专利]四方扁平无引脚封装的制造方法有效
申请号: | 200810176686.4 | 申请日: | 2008-11-20 |
公开(公告)号: | CN101740406A | 公开(公告)日: | 2010-06-16 |
发明(设计)人: | 林峻莹;沈更新;侯博凯 | 申请(专利权)人: | 南茂科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈亮 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种四方扁平无引脚封装的制造方法。首先,于一牺牲层上形成一图案化导电层,其中图案化导电层包括多组引脚。将多个芯片贴附于牺牲层上,其中各芯片分别被其中一组引脚所环绕。令各芯片分别与其中一组引脚电性连接,并于牺牲层上形成一封装胶体,以覆盖图案化导电层以及这些芯片。接着,切割封装胶体以及图案化导电层,并预切割牺牲层以于牺牲层上形成多个切割沟槽。在切割封装胶体以及图案化导电层并预切割牺牲层之后移除牺牲层。因此,借由将预切割后的封装结构贴附于转移基板并依序将牺牲层及转移基板移除,可以得到规则排列的多个四方扁平无引脚封装。 | ||
搜索关键词: | 四方 扁平 引脚 封装 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种四方扁平无引脚封装的制造方法,包括:于一牺牲层上形成一图案化导电层,其中该图案化导电层包括多组引脚;将多个芯片贴附于该牺牲层上,其中各该芯片分别被其中一组引脚所环绕;令各该芯片分别与其中一组引脚电性连接;于该牺牲层上形成一封装胶体,以覆盖该图案化导电层以及该些芯片;切割该封装胶体以及该图案化导电层,并预切割该牺牲层以于该牺牲层上形成多个切割沟槽;以及在切割该封装胶体以及该图案化导电层并预切割该牺牲层后,移除该牺牲层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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