[发明专利]处理废气的方法和装置

摘要

一种处理废气的装置，其具有预处理部分，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个，所述废气含有氟化合物和CO中的至少一个；加热氧化分解部分，用于进行所述氟化合物和CO中的至少一个的加热氧化分解，以净化所述废气。该装置具有后处理部分，用于后处理由加热氧化分解所产生的酸性气体如HF。本发明还涉及一种处理废气的方法，该废气含有氟化合物和CO中的至少一个，该方法包括：从所述废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个；将O₂和H₂O加入所述废气中；加热所述废气，以分解或氧化废气中的氟化合物和CO中的至少一个；以及从已分解或氧化的废气中除去在氟化合物分解时产生的酸性气体。

主权项

1. 一种处理废气的装置，所述废气含有氟化合物和CO，所述装置包括：第一处理部分，用于从废气中除去粉末成分、水溶性成分和水解成分中的至少一个；加热氧化分解部分，其具有用于允许废气通过的空心部件、围绕所述空心部件设置以加热所述空心部件中的废气的加热设备以及位于所述空心部件中的接触增强设备，所述加热氧化分解部分用于通过将所述废气加热到700至900℃的温度在没有催化反应的情况下分解具有四个或更多碳原子的氟化合物和氧化CO，同时使所述废气与所述接触增强设备接触，从而产生废气的湍流；氧气供应源，用于将氧气供应给所述加热氧化分解部分；水供应源，用于将水供应给所述加热氧化分解部分；催化反应部分，用于在600至900℃的温度下通过催化反应分解具有三个或更少碳原子的氟化合物；以及第二处理部分，用于除去由此得到的废气中的酸性气体。