[发明专利]检查装置无效
| 申请号： | 200810177051.6 | 申请日： | 2008-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN101441246A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 萩原顺一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供不需预先加热探测卡，就可进行高温检查，并且即使探针的针尖位置变动，也可以实时地校正为适当的接触负荷，进行可靠性高的检查，并可防止损伤探测卡或被检查体的检查装置。本发明的检查装置具有载置半导体晶片W的可移动的载置台(10)、配置在载置台(10)上的探测卡(30)、控制载置台(10)的控制装置(40)、支撑载置体(11)的支撑体(12)、和设在支撑体(12)内的升降驱动机构(14)。在载置体(11)和支撑体(12)之间设置检测接触负荷的压力传感器(15)。另外，控制装置(40)根据压力传感器(15)的检测信号控制升降驱动机构(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种检查装置，其具有载置被检查体的能够移动的载置台、配置在所述载置台的上方的探测卡、和控制所述载置台的控制装置，其过激励所述载置台，使载置在所述载置台上的所述被检查体的多个电极和所述探测卡的多个探针以规定的接触负荷接触，检查所述被检查体，其特征在于：所述载置台具有可调整温度的载置体、支撑所述载置体的支撑体、设在所述支撑体内的升降驱动机构，在所述载置体和所述支撑体之间设置检测所述接触负荷的压力传感器，另外，所述控制装置根据所述压力传感器的检测信号控制所述升降驱动机构。
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