[发明专利]等离子天线以及含该天线的等离子处理装置有效
| 申请号： | 200810177554.3 | 申请日： | 2008-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN101740876A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吴贤泽;李昌桓;卢一镐;孔炳润;李正仁 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | H01Q21/00 | 分类号： | H01Q21/00;H01Q1/26;H05H1/46;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张春媛 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明的课题是提供一种等离子天线以及使用该天线的等离子处理装置。解决方案是本发明的实施方式的等离子天线用于等离子发生装置的等离子天线中，前述等离子天线具有下述形状：其接受电源供给部提供的电源，并在分支部向电介质的外周分支，前述分支的天线向中央集中，并在接地部接地。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 天线 以及 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子天线，其特征在于：其用于等离子发生装置的等离子天线中，前述等离子天线具有下述形状：其接受电源供给部提供的电源，并在分支部向电介质的外周分支，前述分支的天线向中央集中，并在接地部接地。
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