[发明专利]转换反应气体的分离回收方法有效
| 申请号： | 200810178687.2 | 申请日： | 2008-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101445240A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 增田伸久;立野升 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;李平英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供转换反应气体的分离回收方法，其特征在于，在由四氯化硅和氢气生成三氯硅烷的转换反应过程中，冷却生成气体形成凝结液，由该凝结液蒸馏分离三氯硅烷和四氯化硅后馏出回收六氯化二硅，例如，其具有：由凝结液馏出三氯硅烷的第1蒸馏工序、由第1蒸馏工序的残液馏出四氯化硅的第2蒸馏工序、和由第2蒸馏工序的残液馏出六氯化二硅的第3蒸馏工序。 | ||
| 搜索关键词： | 转换 反应 气体 分离 回收 方法 | ||
【主权项】：
1. 转换反应气体的分离回收方法，其中，具有：在由四氯化硅和氢气生成三氯硅烷的转换反应过程中，冷却排出气体而凝结的工序；由该凝结液分离三氯硅烷和四氯化硅的工序；和回收六氯化二硅的工序。
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