[发明专利]热等静压法生产ITO靶材的方法有效
| 申请号： | 200810179368.3 | 申请日： | 2008-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN101407904A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈立三;彭晓苏;陈卫飞;李鹏飞;陈军辉;佘旭 | 申请（专利权）人： | 株洲冶炼集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李丙林;张 英 |
| 地址： | 412004*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及到采用热等静压法进行ITO靶材的方法，其特征在于，所使用的ITO粉料经过不低于1000℃温度的煅烧，并且在热等静压处理过程中使用石墨纸作为隔离材料，避免靶材与包套反应，方便剥离，提高靶材成材率，适合于工业化生产。压制出的靶材相对密度可达到99％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 生产 ito 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过热等静压法制备ITO靶材的方法，包括将ITO粉料通过冷等静压压制成型后进行热等静压处理，其特征在于，所使用的ITO粉料经过不低于1000℃温度的煅烧，并且在热等静压处理时在包套与靶材之间设置一层石墨纸。
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