[发明专利]结合方法及其装置有效
| 申请号： | 200810179513.8 | 申请日： | 2008-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN101444873A | 公开（公告）日： | 2009-06-03 |
| 发明（设计）人： | 大桥修;峰岸敬一;吉田安德;和田光司 | 申请（专利权）人： | SMC株式会社 |
| 主分类号： | B23K20/00 | 分类号： | B23K20/00;B23K20/14 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民;张惠萍 |
| 地址： | 日本国东京都千代田区外神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种结合方法及其装置。氮气罐(22)、回转泵(30)和机械增压泵(31)连接到结合容器(12)，结合容器(12)构成用于进行扩散结合的结合装置(10)，所述结合装置进一步包括压力传感器(32)。结合容器(12)内形成有氮气气压，在控制电路(38)的控制操作下，氮气导入量被控制，致使压力基本上固定在3-105Pa之间的预定压力上。在这种状态时，在液压缸(44)的杆(46)的作用下，第二电极(16)趋近第一电极(14)，并最终压在位于第一电极(14)上的第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)上。此外，电流通过第一电极(14)和第二电极被施与第一被结合物体(W1)和第二被结合物体(W2)。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种结合方法，其特征在于，在对相互接触的第一结合物体(W1)和第二结合物体(W2)进行加热时，压力被施加到所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)，从而使两个结合物体连接在一起，所述方法包含以下步骤：将所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)放置在结合容器(12)中，并将氮气引入所述结合容器(12)中，同时将所述结合容器(12)内的压力控制在3Pa至105Pa之间；和对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加热，同时对所述第一结合物体(W1)和所述第二结合物体(W2)加压。
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