[发明专利]一种清洗溶液及采用该溶液的清洗方法无效
| 申请号： | 200810180950.1 | 申请日： | 2008-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101735904A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 范国明 | 申请（专利权）人： | AXT公司 |
| 主分类号： | C11D7/08 | 分类号： | C11D7/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种清洗溶液及采用该溶液的清洗方法，特别是一种用于清洗生长砷化镓晶体的器皿的混合酸溶液及相应的清洗方法。所述混合酸溶液包括硝酸、氢氟酸和水，其中硝酸、氢氟酸和水的体积比为1-6∶0.1-1.5∶0.1-1.5。所述清洗生长砷化镓晶体的器皿的方法包括对用于生长砷化镓晶体的器皿依次进行下列处理：浸泡于所述混合酸溶液、浸泡于氨水溶液、表面活性剂超声波振洗，以及去离子水超声波振洗。本发明的混合酸溶液性质稳定，减少了溶液配制的工作量；同时，所述混合酸溶液溶解器皿上的残留物的速率高，可以节省操作时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 溶液 采用 方法 | ||
【主权项】：
一种用于清洗生长砷化镓晶体的器皿的混合酸溶液，包括硝酸、氢氟酸和水。
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