[发明专利]感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法

摘要

本发明提供一种感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法，该感应耦合等离子体处理装置能够不提高装置成本和电力成本地在等离子体处理的过程中进行等离子体状态的控制。在处理室(4)的上方，隔着电介质壁(2)配置有通过被供给高频电力在处理室(4)内形成感应电场的高频天线(13)，通过等离子体发光状态检测部(40)检测通过感应电场在所述处理室内形成的感应耦合等离子体的发光状态，根据该等离子体发光状态检测部(40)的检测信息，控制单元(50)控制调节包括高频天线的天线电路的特性的调节单元(21)，由此控制等离子体状态。

主权项

1. 一种感应耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括：收容被处理基板并实施等离子体处理的处理室；在所述被处理室内载置被处理基板的载置台；向所述处理室内供给处理气体的处理气体供给系统；对所述处理室内进行排气的排气系统；在所述处理室的外部隔着电介质部件配置、且通过被供给高频电力在所述处理室内形成感应电场的高频天线；检测通过所述感应电场在所述处理室内形成的感应耦合等离子体的状态的等离子体检测单元；调节包括所述高频天线的天线电路的特性的调节单元；和根据所述等离子体检测单元的等离子体检测信息控制所述调节单元，控制等离子体状态的控制单元。