[发明专利]压电元件、角速度传感器、以及压电元件的制造方法有效
| 申请号： | 200810181471.1 | 申请日： | 2008-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN101436642A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 小池伸幸;田村孝 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/187;G01P3/44 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余 刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压电特性和耐热性优良的压电元件、角速度传感器以及压电元件的制造方法。压电元件包括压电膜和电极膜。压电膜由Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成，其中，X大于等于0且小于等于0.3，Y大于等于0且小于等于0.55，压电膜具有拉伸应力。电极膜将电压施加给压电膜。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 角速度 传感器 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种压电元件，包括：压电膜，由Pb1+X(ZrYTi1-Y)O3+X表示的锆钛酸铅构成，其中，X大于等于0且小于等于0.3，并且Y大于等于0且小于等于0.55，所述压电膜具有拉伸应力；以及电极膜，将电压施加给所述压电膜。
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