[发明专利]西门子法多晶硅尾气处理方法无效
| 申请号： | 200810183542.1 | 申请日： | 2008-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN101745300A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 侯振海;王宏达;张军 | 申请（专利权）人： | 王宏达 |
| 主分类号： | B01D53/68 | 分类号： | B01D53/68;B01D53/77;C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱建新 |
| 地址： | 110001*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤：(1)配料：将四氯化硅与水按摩尔比0.5～0.8∶1～2.4混匀；(2)反应：对混合物料进行加热回流，温度为100～150℃，回流时间为2～4小时；(3)分离：反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离；(4)冷凝分离：用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。本发明处理速度快，处理量大，处理成本低，没有二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 西门子 多晶 尾气 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤：(1)配料：将四氯化硅与水按摩尔比0.5～0.8∶1～2.4混匀；(2)反应：对混合物料进行加热回流，温度为100～150℃，回流时间为2～4小时；(3)分离：反应完毕后，将产生的固体产物与气体产物和原料四氯化硅分离；(4)冷凝分离：用冷凝法分离气体产物和原料四氯化硅。
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