[发明专利]电极用钛材的表面处理方法无效
| 申请号： | 200810185515.8 | 申请日： | 2008-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN101519779A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 铃木顺;佐藤俊树;久本淳;伊藤良规;谷藤信一;屋敷贵司 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C25D11/26;C23C14/16;H01M8/02;H01M8/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种用于成为导电性、耐腐蚀性、耐氢吸收性优异的电极用钛材的电极用钛材的表面处理方法。本发明的电极用钛材的表面处理方法，其特征是包含如下工序：在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面形成10nm以上、80nm以下厚度的氧化钛层的氧化钛层形成工序；通过PVD法，在所述氧化钛层之上将含有从Au、Pt、Pd中选择的至少1种贵金属形成为2nm以上厚度的贵金属层的贵金属层形成工序；以300℃以上、800℃以下的温度对形成有所述贵金属层的钛材进行热处理的热处理工序。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 用钛材 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种电极用钛材的表面处理方法，其特征在于，包括：在由纯钛或钛合金构成的钛材的表面形成10nm以上、80nm以下厚度的氧化钛层的氧化钛层形成工序；通过PVD法，在所述氧化钛层之上形成含有从Au、Pt、Pd中选择的至少1种贵金属的厚度为2nm以上的贵金属层的贵金属层形成工序；在300℃以上、800℃以下的温度对形成有所述贵金属层的钛材进行热处理的热处理工序。
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