[发明专利]脆基板裂片设备和方法

摘要

提供了一种脆基板裂片设备和方法。该裂片设备包括：用于加热从外部供应的空气的第一加热器，用于将蒸汽供应到由第一加热器加热的首次加热的空气的蒸汽供应装置，用于加热由首次加热的空气和蒸汽构成的混合物的第二加热器，和用于将由第二加热器加热的再次加热的空气喷射到脆基板上的喷嘴。该裂片方法包括：通过加热从外部供应的空气，形成约80℃到约250℃的范围内的首次加热的空气，将首次加热的空气与蒸汽混合，通过将由空气和蒸汽构成的混合物加热到约80℃到约250℃的范围内，形成其含湿量是按体积计算的1-10％的再次加热的空气，并将再次加热的空气喷射到脆基板的表面上。因此，由于再次加热的空气的温度和包含在再次加热的空气中的湿气的潜热，导致将强热迅速传递到脆基板的刻线。从而，不仅改善了刻线裂缝的扩散效果，而且喷射的再次加热的空气包含按体积计算不超过10％的湿气，使得在裂片过程中在脆基板上不形成水滴，并且由此使得裂缝蔓延是均匀的，并可减少产品缺陷。

主权项

一种脆基板裂片设备，包括：第一加热器，所述第一加热器用于加热从外部供应的空气；蒸汽供应装置，所述蒸汽供应装置用于将蒸汽供应到由所述第一加热器加热的首次加热的空气；第二加热器，所述第二加热器用于加热由所述首次加热的空气和所述蒸汽构成的混合物；和喷嘴，所述喷嘴用于将由所述第二加热器加热的再次加热的空气喷射到脆基板上。