[发明专利]气体注入单元和具有气体注入单元的薄膜沉积设备

摘要

本发明提供一种气体注入单元和具有所述气体注入单元的薄膜沉积设备。由于多种不同种类的有机材料可按顺序气化并由单一注入单元注入，因此多种不同种类的薄膜可在单一腔室中沉积。此外，可容易地控制所述注入器单元的气体注入结构。因此，即使当诸如衬底大小、所述腔室的工艺温度等工艺条件改变时，也可通过仅更换某些零部件而不是更换整个注入器单元而有效地响应于改变的工艺条件。

主权项

1. 一种气体注入单元，其包括：供应管单元，其具有多个供应管，不同材料被供应到所述多个供应管；以及注入器单元，其连接到所述供应管单元，且具备与所述供应管连通的通路以及与所述通路连通并注入气体的一个或一个以上注入孔，其中至少一个热传递部件提供在所述通路上。