[发明专利]具有导电机械停止器的MEMS微开关有效
| 申请号： | 200810188424.X | 申请日： | 2008-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101533740A | 公开（公告）日： | 2009-09-16 |
| 发明（设计）人： | X·王;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;M·F·艾米;K·V·S·R·基肖尔;G·S·克莱顿;O·C·布姆豪尔;P·萨克尔 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;蒋 骏 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 导电 机械 停止 mems 开关 | ||
【主权项】：
1. 一种MEMS开关30、50、60、70、80，包括：衬底32；耦接到该衬底32的活动致动器33、63、83；衬底接触35、85；衬底电极36、56、86；和导电停止器39、59、69、79，其电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为，防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通用电气公司，未经通用电气公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810188424.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
