[发明专利]研磨用组合物无效
| 申请号： | 200810189523.X | 申请日： | 2008-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101469252A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 平野达彦;水野博史;梅田刚宏 | 申请（专利权）人： | 福吉米股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;李平英 |
| 地址： | 日本岐阜*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及研磨用组合物。本发明提供研磨用组合物，其在制备布线结构体的研磨工序中可以兼顾抑制表面阶梯度的产生和实现高的研磨速度。研磨用组合物，其含有磨料、加工促进剂、表面缩穴抑制剂、和水而成。这里，上述磨料至少包含第一磨料和第二磨料，上述第二磨料的平均一次粒径DL1相对于上述第一磨料的平均一次粒径DS1的比例DL1/DS1为5＞DL1/DS1＞1，且上述第一磨料的缔合度为1.8以上且5以下，上述第二磨料的缔合度为2.5以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
1. 研磨用组合物，其特征在于，含有(a)磨料；(b)加工促进剂；(c)表面缩穴抑制剂；和(d)水而成，上述磨料至少包含第一磨料和第二磨料，上述第二磨料的平均一次粒径DL1相对于上述第一磨料的平均一次粒径DS1的比例DL1/DS1为5>DL1/DS1>1，且上述第一磨料的缔合度为1.8以上且5以下，上述第二磨料的缔合度为2.5以下。
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