[发明专利]切削工具用硬质被膜、硬质被膜覆盖的切削工具、硬质被膜的制造方法及硬质被膜形成用靶

摘要

一种切削工具用硬质被膜，是由(Ti_1-a-b-c-d，Al_a，Cr_b，Si_c，B_d)(C_1-eN_e)构成的硬质被膜，其中，0.5≤a≤0.8、0.06≤b、0≤c≤0.1、0≤d≤0.1、0≤c+d≤0.1、a+b+c+d＜1、0.5≤e≤1其中，a、b、c、d分别表示Al、Cr、Si、B的原子比，e表示N的原子比。另外，本发明还提供了用上述切削工具用硬质被膜覆盖的切削工具，该切削工具用硬质被膜的制造方法以及硬质被膜形成用靶。采用本发明能够提供可高速·高效率切削的，耐磨损性比TiAlN优良的切削工具用硬质被膜，用于得到这种硬质被膜的有用的制造方法，以及可以通过上述制造方法有效地得到本发明的切削工具用硬质被膜的靶。

主权项

1、一种硬质被膜形成用靶，其特征在于，相对密度在95％以上，由(Ti1-x-y-z-w，Alx，Cry，Siz，Bw)构成，满足0.5≤x≤0.8、0.06≤y、0≤z≤0.1、0≤w≤0.1、0≤z+w≤0.1、x+y+z+w<1，其中，x、y、z、w分别表示Al、Cr、Si、B的原子比。