[发明专利]电路影像转移制程无效
| 申请号： | 200810192902.4 | 申请日： | 2008-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101770183A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 简祯祈 | 申请（专利权）人： | 大量科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种电路影像转移制程，是以喷墨方式将光阻剂喷涂于基板的铜箔层表面，使光阻剂形成电路影像，再利用雷射修整电路影像边缘，以使基板可进行后续蚀刻作业，而可降低电路影像转移制程所需的成本，以及简化制程，而可有效提高产业的竞争力。 | ||
| 搜索关键词： | 电路 影像 转移 | ||
【主权项】：
一种电路影像转移制程，其特征在于，所述制程是以喷墨方式将光阻剂喷涂于基板的铜箔层表面，使所述光阻剂形成电路影像，再利用雷射修整所述电路影像边缘，以使所述基板进行后续蚀刻作业。
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