[发明专利]微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法无效
| 申请号： | 200810196741.6 | 申请日： | 2008-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN101419044A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 费业泰;王晨晨;尚平 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B5/008 | 分类号： | G01B5/008 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 微纳米级三维测量“331”系统及其测量方法，其特征是设置三维测量系统X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以交点为坐标原点，建立三维坐标系；设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面；设置X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。本发明在三维方向上都满足阿贝原则，从而能有效避免阿贝误差，保证高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 三维 测量 331 系统 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1、微纳米级三维测量“331”系统，其特征是系统构成为：设置三维测量系统的X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线相互垂直并相交于一交点上，以所述交点为坐标原点，建立三维坐标系；设置测量系统中测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面与测头中心点所在的测量面三面共面形成重合平面，从而建立三维共平面测量平台；设置所述X、Y、Z轴标准量尺寸线或其延长线的交点处于测量平台的X轴导轨导向面、Y轴导轨导向面、测量面三面的重合平面上；同时使X、Y轴标准量尺寸线或其延长线也与三面重合，使已建三维坐标系的X、Y坐标面与测量面重合；设置测头中心点与三条标准量尺寸线或其延长线交点重合。
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