[发明专利]一种精密减振组件及由其构成的减振平台

摘要

本发明公开了一种精密减振组件及由其构成的减振平台，具有减振和Z向定位功能。精密减振组件包括被动减振部件、主动减振执行器和外框架。被动减振部件采用双腔体结构的活塞杆，气囊和压力腔分别位于两个腔体内，气囊具有较大的纵向支撑力和较低的刚度，能隔离衰减高频的振动。主动减振执行器为直线型音圈电机，与被动减振部件并联，根据被控对象振动状态和位置信息，对被动对象施加作用力，带动被控对象运动到指定的位置和对振动进行补偿。至少三个精密减振组件构成的减振平台具有多自由度减振，Z向精确定位和调平调焦功能。本发明可用于光刻机、超精密数控机床、生物芯片扫描仪等具有精密减振要求的设备中。

主权项

1、一种精密减振组件，其特征在于：机架(1)为中空圆柱形，机架(1)的侧壁上开有进气孔(2)，在机架(1)侧壁下方分别布置有多个排气道(4)，机架(1)的底部开有用于连接外接气源的进气口(10)；活塞杆(6)为圆柱形，其剖面成H型；活塞杆(6)位于机架(1)内；在机架(1)与活塞杆(6)之间形成一层柱面压力气膜(3)；进气孔(2)、柱面压力气膜(3)和排气道(4)构成柱面气浮轴承；机架(1)底部开有进气口(10)；活塞杆(6)内包含上、下腔体，其中一个腔体中安装有气囊(5)，另一个腔体密封构成压力腔；该压力腔与气囊(5)之间开有阻尼调节孔(14)，位于下腔体的压力腔或气囊(5)与进气口(10)相连；端面气浮轴承定子(13)固定在活塞杆(6)的上端部，端面气浮轴承动子(16)位于端面气浮轴承定子(13)的上方；节流孔(15)内嵌在端面气浮轴承定子(13)上，位于活塞杆(6)上部的压力腔或气囊(5)相通，在端面气浮轴承定子(13)与端面气浮轴承动子(16)之间形成一层端面压力气膜(17)，端面气浮轴承动子(16)通过端面压力气膜(17)悬浮在端面气浮轴承定子(13)之上；端面气浮轴承动子(16)与柔性铰(8)固定连接；音圈电机包括音圈电机定子(18)和音圈电机动子(19)构成，音圈电机定子(18)与机架(1)端部固定连接，音圈电机动子(19)与端面气浮轴承动子(16)固定连接。