[发明专利]镜头校验方法及系统有效
| 申请号： | 200810200271.6 | 申请日： | 2008-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN101685251A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 吕秋玲;赵庆国;黄臣;高燕 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03B43/00 | 分类号： | G03B43/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供镜头校验方法及系统，以提高校验效率及节约人力资源。该方法包括：获得待检测die的规定检测区域所对应的位置信息，采用待校验Canera检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息，获得调整参数信息，以及根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。 | ||
| 搜索关键词： | 镜头 校验 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种镜头校验方法，其特征在于，包括：获得待检测基元的规定检测区域所对应的位置信息；采用待校验镜头检测待检测基元，得到实际检测区域及该区域对应的位置信息和校正特征参数信息；获得调整参数信息；根据所述位置信息、校正特征参数信息及调整参数信息，调整实际检测区域，使其与规定检测区域重合。
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