[发明专利]光学系统对心装调的装置和方法有效
| 申请号： | 200810200907.7 | 申请日： | 2008-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN101387761A | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 周辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62;G02B27/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种光学系统对心装调的装置和方法，所述光学系统对心装调装置包括自准直显微镜和具有空气轴承的转台，其中所述自准直显微镜的光轴与所述空气轴承的旋转轴精确对准，所述自准直显微镜包括照明模块，带刻丝的掩膜板，分光棱镜，调焦物镜组，显微物镜组，半透半反镜，测量分划板，CCD及显微目镜组，保证所述光学系统对心装调装置的偏心测量精度和镜片装调精度，所述转台用于放置被检透镜。本发明的对心装调装置提供一种自准直显微镜，将它运用到高精度定心仪中，它与高精度的空气轴承共同使用，能有效提高该定心设备的定心精度，以满足高精度光学系统镜片的装校要求。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 对心 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种光学系统对心装调装置，所述光学系统对心装调装置包括自准直显微镜和具有空气轴承的转台，其中所述自准直显微镜的光轴与所述空气轴承的旋转轴精确对准，其特征在于:所述自准直显微镜包括照明模块，带刻丝的掩膜板，调焦物镜组，显微物镜组，测量分划板，显微目镜组，所述转台用于放置被检透镜。
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