[发明专利]用提拉法生长铝酸锂晶体的装置无效
申请号: | 200810202606.8 | 申请日: | 2008-11-12 |
公开(公告)号: | CN101418468A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 周圣明;林辉;王军;滕浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | C30B29/22 | 分类号: | C30B29/22;C30B15/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种用提拉法生长铝酸锂晶体的装置,包括一台提拉法生长单晶炉,其特点是该单晶炉的保温罩侧壁是完整的,不设观察窗,在与观察窗口相对的炉壁上通过支架架设一块观察镜于所述的保温罩的上方,以便通过所述的观察镜的反射实现对所述的铱坩埚内熔体界面的观察。本发明的优点是可以保证保温罩腔内温场的均匀性、对称性,可以有效抑制提拉法生长铝酸锂晶体过程中的组分挥发,可实现大尺寸高质量铝酸锂晶体生长。 | ||
搜索关键词: | 用提拉法 生长 铝酸锂 晶体 装置 | ||
【主权项】:
1、一种用提拉法生长铝酸锂晶体的装置,包括一台提拉法生长单晶炉,其特征在于:该单晶炉的保温罩(6)侧壁是完整的,不设观察窗,在与观察窗口相对的炉壁上通过支架架设一块观察镜(2)于所述的保温罩(6)的上方,以便通过所述的观察镜的反射实现对所述的铱坩埚内熔体界面的观察。
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