[发明专利]一种多晶硅坩锅平台支撑装置无效
申请号: | 200810202820.3 | 申请日: | 2008-11-17 |
公开(公告)号: | CN101503821A | 公开(公告)日: | 2009-08-12 |
发明(设计)人: | 史珺;宗卫峰 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/00;C30B35/00;C01B33/02 |
代理公司: | 北京东正专利代理事务所 | 代理人: | 李梦福 |
地址: | 201300上海市南*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种多晶硅坩锅平台支撑装置,包括石墨平台和炉底,还包括一个不锈钢平台、多个上支撑柱和多个下支撑柱,上支撑柱的上端与石墨平台的底部连接,上支撑柱的下端与不锈钢平台连接;下支撑柱的上端与不锈钢平台连接,下支撑柱的下端与炉底固接,采用本发明的多晶硅坩锅平台支撑装置,可以消除在加热和冷却时,石墨平台与炉底之间产生的应力;而且在石墨平台发生膨胀或收缩时,可以保证坩锅的中心位置不变,从而不使任何膨胀或冷却影响坩锅内的硅料内部的温度场的对称性,保证铸锭和定向凝固的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 硅坩锅 平台 支撑 装置 | ||
【主权项】:
1、一种多晶硅坩锅平台支撑装置,包括石墨平台和炉底,其特征在于:还包括一个不锈钢平台、多个上支撑柱和多个下支撑柱;所述的上支撑柱的上端与石墨平台的底部连接;所述的上支撑柱的下端与不锈钢平台连接;所述的下支撑柱的上端与不锈钢平台连接;所述的下支撑柱的下端与炉底固接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海普罗新能源有限公司,未经上海普罗新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200810202820.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。