[发明专利]一种多晶硅坩锅平台支撑装置无效

专利信息
申请号: 200810202820.3 申请日: 2008-11-17
公开(公告)号: CN101503821A 公开(公告)日: 2009-08-12
发明(设计)人: 史珺;宗卫峰 申请(专利权)人: 上海普罗新能源有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/00;C30B35/00;C01B33/02
代理公司: 北京东正专利代理事务所 代理人: 李梦福
地址: 201300上海市南*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供了一种多晶硅坩锅平台支撑装置,包括石墨平台和炉底,还包括一个不锈钢平台、多个上支撑柱和多个下支撑柱,上支撑柱的上端与石墨平台的底部连接,上支撑柱的下端与不锈钢平台连接;下支撑柱的上端与不锈钢平台连接,下支撑柱的下端与炉底固接,采用本发明的多晶硅坩锅平台支撑装置,可以消除在加热和冷却时,石墨平台与炉底之间产生的应力;而且在石墨平台发生膨胀或收缩时,可以保证坩锅的中心位置不变,从而不使任何膨胀或冷却影响坩锅内的硅料内部的温度场的对称性,保证铸锭和定向凝固的质量。
搜索关键词: 一种 多晶 硅坩锅 平台 支撑 装置
【主权项】:
1、一种多晶硅坩锅平台支撑装置,包括石墨平台和炉底,其特征在于:还包括一个不锈钢平台、多个上支撑柱和多个下支撑柱;所述的上支撑柱的上端与石墨平台的底部连接;所述的上支撑柱的下端与不锈钢平台连接;所述的下支撑柱的上端与不锈钢平台连接;所述的下支撑柱的下端与炉底固接。
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