[发明专利]低成本大数值孔径的傅立叶透镜系统有效
| 申请号： | 200810204354.2 | 申请日： | 2008-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN101487923A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 关俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B1/02;G02B17/06 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种傅立叶透镜系统，从物面至像面沿其光轴方向依次包括双凹透镜、第一凸透镜以及第二凸透镜。其中，该双凹透镜，该第一凸透镜和该第二凸透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米。本发明揭露的傅立叶透镜系统具有较大数值孔径和角视场，结构紧凑；仅采用了表面类型为球面或平面的透镜，没有引入非球面透镜，降低了透镜的加工、测试和装校难度，进而降低了透镜的制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 低成本 数值孔径 傅立叶 透镜 系统 | ||
【主权项】：
1、一种傅立叶透镜系统，其特征在于，从物面至像面沿其光轴方向依次包括：双凹透镜；第一凸透镜；以及第二凸透镜，其中，该双凹透镜，该第一凸透镜和该第二凸透镜之间的沿轴空气间隙小于20毫米。
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