[发明专利]可动镜片微调整机构无效
| 申请号： | 200810204974.6 | 申请日： | 2008-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN101464554A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 陈文枢;谭长永;魏巍 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机设备，尤其是涉及光刻设备中的可动镜片微调整机构。公开了一种可动镜片微调整机构，包括一驱动部件和一执行部件，所述驱动部件带动执行部件调整镜片座，所述执行部件是用于将驱动部件的输出力进行放大的两级杠杆机构。两级杠杆机构结构简单、制造及控制容易实现、成本低、经济性好，其可对驱动部件的输出位移可进行有效放大，配合微亚米级运动精度的步进电机，实对镜片高精度大行程的调整。另外，由于两级杠杆机构采用交叉的安装形式，因此，可以使本发明在满足对镜片高精度大行程的调整情况下有效减少其整体尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 镜片 微调 整机 | ||
【主权项】：
1. 一种可动镜片微调整机构，包括一驱动部件和一执行部件，所述驱动部件带动执行部件调整镜片座，其特征在于：所述执行部件是用于将驱动部件的输出力进行放大的两级杠杆机构。
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