[发明专利]互连线失效检测方法无效
| 申请号： | 200810205392.X | 申请日： | 2008-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN101769975A | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 王津洲 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R31/11;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种互连线失效检测方法，包括：在互连线路第一电极的激励点连接第一脉冲发生器，在测试点连接时域反射仪，在第二电极上连接第二脉冲发生器；用第一脉冲发生器在激励点输入电压脉冲，所述脉冲上升时间小于正常互连线中从激励点输入电压脉冲至第二电极接收到电压脉冲所需时间的2倍；如果在测试点的时域反射仪上接收到反射的电压脉冲，根据反射时间确定失效点的位置。本发明提高检测的速度和效率及定位的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 失效 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种互连线失效检测方法，其特征在于，包括：在互连线路第一电极的激励点连接第一脉冲发生器，在测试点连接时域反射仪，在第二电极上连接第二脉冲发生器；用第一脉冲发生器在激励点输入电压脉冲，所述脉冲上升时间小于正常互连线中从激励点输入电压脉冲至第二电极接收到电压脉冲所需时间的2倍；如果在测试点的时域反射仪上接收到反射的电压脉冲，根据反射时间确定失效点的位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810205392.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
