[发明专利]大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手

摘要

大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手，它涉及一种晶圆传输机械手。本发明解决了现有的晶圆传输机械手存在的线路及气管连接的可靠性低、使用寿命短、竖直方向行程受限制而不能满足竖直方向大伸缩比运动的需求和拆装维修不便的问题。本发明的辅助丝杠驱动总成的辅助丝杠轴的上端穿过中法兰盘并保持悬浮状态，主丝杠驱动总成的主丝杠轴的上端穿过中法兰盘、Z轴滑动支架、T轴下法兰盘、T轴上法兰盘和R轴下法兰盘并保持悬浮状态，主花键导轨总成的主花键导轨花键轴的下端与中法兰盘固接，走线模块总成设置在T轴上法兰盘和R轴下法兰盘之间。本发明具有线路及气管连接的可靠性高、使用寿命长、实现了竖直方向较大的行程和拆装维修极方便的优点。

主权项

1、一种大升降伸缩比双臂晶圆传输机械手，它包括底座(1)、主丝杠驱动总成(2)、辅助丝杠驱动总成(3)、三个辅助花键导轨总成(4)、中法兰盘(5)、三个主花键导轨总成(6)、Z轴滑动支架(7)、Z轴驱动电机(35)、支撑套筒总成(8)、T轴下法兰盘(9)、T轴传动总成(10)、T轴驱动电机(11)、T轴上法兰盘(12)、R轴下法兰盘(13)、R轴右臂传动总成(14)、R轴右臂驱动电机(15)、R轴左臂传动总成(16)、R轴左臂驱动电机(17)、R轴上法兰盘(18)、R轴左臂总成(19)、R轴右臂总成(20)、走线模块总成(21)、Z轴主动带轮(23)、Z轴主从动传动带轮(25)、Z轴辅从动传动带轮(27)、Z轴同步传动带(28)和Z轴驱动电机(35)，其特征在于：所述走线模块总成(21)由线路总成(29)和发条(30)组成，所述R轴左臂总成(19)由左大臂(19-1)、左小臂(19-2)和左末端手固定架(19-3)组成，所述R轴右臂总成(20)由右大臂(20-1)、右小臂(20-2)、右末端手下支架(20-3)、右末端手立支架(20-4)和右末端手上支架(20-5)组成，所述主丝杠驱动总成(2)、Z轴驱动电机(35)、辅助丝杠驱动总成(3)和三个辅助花键导轨总成(4)均安装在底座1上，辅助丝杠驱动总成(3)的辅助丝杠轴(3-3)的上端穿过中法兰盘(5)并保持悬浮状态，所述辅助丝杠轴(3-3)与中法兰盘(5)的交汇处通过辅助丝杠驱动总成(3)的辅助丝杠螺母(3-2)固接，辅助丝杠驱动总成(3)的辅助丝杠轴(3-3)的下端穿过底座(1)与相应的Z轴辅从动传动带轮(27)固接，辅助花键导轨总成(4)的花键(4-4)固装在中法兰盘(5)的安装孔内，所述花键(4-4)在导轨(4-3)上滑动，所述主丝杠驱动总成(2)的主丝杠轴(2-3)的上端由下到上依次穿过中法兰盘(5)、Z轴滑动支架(7)、T轴下法兰盘(9)、T轴上法兰盘(12)和R轴下法兰盘(13)并保持悬浮状态，所述主丝杠驱动总成(2)的主丝杠轴(2-3)与Z轴滑动支架(7)的交汇处通过主丝杠驱动总成(2)的主丝杠螺母(2-2)固接，所述主丝杠驱动总成(2)的主丝杠轴(2-3)的下端穿过底座(1)与Z轴主从动传动带轮(25)固接，所述支撑套筒总成(8)套装在主丝杠轴(2-3)上，且支撑套筒总成(8)的上端和下端分别与T轴下法兰盘(9)和中法兰盘(5)固接，主花键导轨总成(6)的主花键导轨花键轴(6-3)的下端与中法兰盘(5)固接，所述主花键导轨总成(6)的主花键导轨花键轴(6-3)的上端由下至上依次穿过Z轴滑动支架(7)和T轴下法兰盘(9)，主花键导轨总成(6)的主花键导轨花键(6-4)均固装在Z轴滑动支架(7)的安装孔内，所述主花键导轨花键(6-4)在主花键导轨花键轴(6-3)上滑动，所述T轴驱动电机(11)安装在T轴下法兰盘(9)的上端面上，所述T轴传动总成(10)的下端与T轴下法兰盘(9)相连接，所述T轴驱动电机(11)通过T轴三级同步传动带(10-1)与T轴传动总成(10)相连接，所述T轴传动总成(10)的上端穿过T轴上法兰盘(12)与R轴下法兰盘(13)相连接，所述R轴右臂传动总成(14)、R轴左臂传动总成(16)、R轴右臂驱动电机(15)和R轴左臂驱动电机(17)均安装在R轴下法兰盘(13)的上端面上，所述R轴左臂传动总成(16)与R轴左臂驱动电机(17)通过左臂三级同步传动带(16-1)相连接，所述R轴右臂传动总成(14)与R轴右臂驱动电机(15)通过右臂三级同步传动带(14-1)相连接，所述R轴上法兰盘(18)安装在R轴右臂传动总成(14)和R轴左臂传动总成(16)的上端面上，所述R轴左臂传动总成(16)轴穿过R轴上法兰盘(18)与R轴左臂总成(19)的左大臂(19-1)的一端相铰接，所述R轴左臂总成(19)的左大臂(19-1)的另一端与R轴左臂总成(19)的左小臂(19-2)的一端相铰接，所述R轴左臂总成(19)的左小臂(19-2)的另一端与左末端手固定架(19-3)的一端相铰接，所述R轴右臂传动总成(14)的轴穿过R轴上法兰盘(18)与R轴右臂总成(20)的右大臂(20-1)的一端相铰接，所述R轴右臂总成(20)的右大臂(20-1)的另一端与R轴右臂总成(20)的右小臂(20-2)的一端相铰接，所述R轴右臂总成(20)的右小臂(20-2)的另一端与右末端手下支架(20-3)的一端相铰接，所述右末端手下支架(20-3)的另一端与右末端手立支架(20-4)的一端相铰接，所述右末端手立支架(20-4)的另一端与右末端手上支架(20-5)的一端相铰接，所述Z轴驱动电机(35)的输出轴(22)穿过底座(1)与Z轴主动带轮(23)固接，所述Z轴主从动传动带轮(25)、Z轴辅从动传动带轮(27)和Z轴主动带轮(23)通过Z轴同步传动带(28)相连接，所述走线模块总成(21)设置在T轴上法兰盘(12)和R轴下法兰盘(13)之间，所述线路总成(29)覆在发条(30)的外表面上，所述发条(30)的外端头(30-1)与T轴上法兰盘(12)固接，所述发条(30)的内端头(30-2)与R轴下法兰盘(13)固接。