[发明专利]化学气相淀积反应器和化学气相淀积方法

摘要

本发明揭示了一种用于化学气相淀积的反应器和一种使用该反应器进行化学气相淀积的方法。该反应器有一种圆柱形反应腔，腔内有一种圆柱形顶盖支撑和一种环形气体扩散盘。该圆柱形反应腔能实现多股气流沿着与衬底表面平行或与衬底表面成一定角度的径向方向和另一股气流沿着与衬底表面垂直的方向进入反应腔。该反应器具有结构简单，操作与维修方便，制造和使用成本低等优点，使用该反应器进行化学气相淀积具有效率高，耗源少，重复性，再现性和一致性好等优点。

主权项

1.一种化学气相淀积反应器通常包括一种圆柱形反应腔，所述圆柱形反应腔内包括一种反应腔顶盖，一种反应腔底盘，一种筒状反应腔侧壁，一种放置在所述反应腔底盘中心部位的圆柱形顶盖支撑，一种水平放置在所述圆柱形反应腔中的环形衬底载盘，一种水平放置在所述反应腔侧壁上部界于所述反应腔顶盖和环形衬底载盘之间的气体导入环，一种围绕着所述圆柱形顶盖支撑的环形气体排出通道或一种水平放置在所述圆柱形顶盖支撑上部的气体排出环，一种放置在所述环形衬底载盘下方的加热装置和一种放置在所述反应腔底盘附近的排气孔。其特征在于：所述圆柱形顶盖支撑所提供的顶部支撑到所述反应腔顶盖内侧的中央部位；所述气体导入环包含若干环形气体喷嘴，由所述环形气体喷嘴导入所述反应腔的气流方向通常平行于所述环形衬底载盘表面或与所述环形衬底载盘表面成小于90度的斜角，所述环形气体喷嘴之间相互不连通，每一个所述环形气体喷嘴与各自的供气单元连接。