[发明专利]硅基薄膜结构空气质量流量传感器无效
| 申请号： | 200810211741.9 | 申请日： | 2008-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN101408442A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 徐宇新;蔡丰勇;邱飞燕;张国昌;刘福民;李瑞龙 | 申请（专利权）人： | 北京时代蓝天光电技术有限公司;温州百岸汽车零部件有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/86 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100854北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于MEMS工艺的硅基薄膜结构空气质量流量传感器。在硅基底材料1上覆盖一层绝缘薄膜2，并在整个结构的中间部分刻蚀出一个隔热腔体5，采用MEMS工艺将加热电阻3和测温电阻4一次性在基底材料上实现。在布局上，将加热电阻3制作在驾于隔热腔体5的绝缘薄膜2上，而将测温电阻制作在硅基材料上面的绝缘薄膜上。利用本发明，能够提供测量精度高，功率损耗低，测量范围大且一致性好、成本低廉的恒温差式的热式空气质量流量传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 结构 空气质量 流量传感器 | ||
【主权项】：
1.一种硅基薄膜结构空气质量流量传感器，其特征在于设置有采用MEMS工艺在硅基底材料上实现的隔热腔体、绝缘薄膜、加热电阻、测温电阻在内的敏感元件，所述加热电阻位于驾在隔热腔体上的绝缘薄膜绝缘之上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京时代蓝天光电技术有限公司;温州百岸汽车零部件有限公司，未经北京时代蓝天光电技术有限公司;温州百岸汽车零部件有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810211741.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：扩散片及其制造工艺、背光模组及液晶显示装置
- 下一篇：立柱型LED散热器
