[发明专利]衬底传送机器人的位置传感器系统

摘要

衬底处理设备包含衬底操作室、一对位置传感器以及衬底传送机器人。每个传感器包含被设置为发出一束光的发射器和被设置为接收所述一束光的接收器。衬底传送器人包括末端受动器和机器人执行器。末端受动器被设置为支承衬底，以便每当衬底被支承时衬底具有相对于末端受动器的相同的期望位置。机器人执行器被设置为在操作室内移动末端受动器从而在多个衬底台之间传送衬底。被末端受动器支承在期望位置内的衬底的边缘能够部分地阻挡位置传感器中的一个位置传感器的光束，同时末端受动器的另一端部分地阻挡另一个位置传感器的光束。

主权项

1.半导体衬底处理设备，其包括：衬底操作室；第一对位置传感器，每个位置传感器包括：被设置为发出一束光的光束发射器；以及被设置为接收光束的光束接收器；以及在所述操作室内的衬底传送机器人，所述机器人包括：具有远端和近端的细长的末端受动器，所述末端受动器被设置为在所述远端拾取并支承半导体衬底，以便每当所述末端受动器拾取并支承所述衬底时所述衬底具有相对于所述末端受动器的相同的期望位置；以及被设置为在所述操作室内移动所述末端受动器从而在多个衬底台之间输送衬底的机器人执行器；其中，所述末端受动器具有使得被所述末端受动器支承在所述期望位置内的衬底的边缘有可能部分地阻挡由所述位置传感器中的一个位置传感器的所述发射器发出的光束、同时所述末端受动器的所述近端部分地阻挡另一个位置传感器的所述发射器发出的光束的长度。